谐振式MEMS磁传感器数字锁相放大器设计

• 作者: 任泽龙 刘松 李宝清 梁亨茂 熊斌
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 谐振式微机电系统(MEMS)磁传感器 相干解调 数字锁相放大器 正交解调
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 86-88,92
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 2898字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2019)04-0086-03

摘要

介绍了一种用于谐振式微机电系统(MEMS)磁传感器输出信号检测的数字锁相放大器.通过分析MEMS磁传感器的工作原理和输出信号特征,并根据相干解调原理,设计了数字锁相放大器,其中包括信号通道、参考通道和数字式相干解调器的设计.在数字式相干解调器的设计中,通过正交解调法来消除相位差对磁传感器灵敏度的影响,利用带通采样和降采样来降低硬件要求.将数字锁相放大器应用于磁传感器,顺利实现了对磁传感器输出信号的解调.测试结果具有良好线性度,其非线性度为0.46％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李宝清	中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室	28	117	5.0	9.0
2	刘松	中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室	50	392	11.0	18.0
6	任泽龙	中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室	1	1	1.0	1.0
10	梁亨茂	中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室	1	1	1.0	1.0