环形子孔径扫描锥形镜面形检测方法研究

• 作者: 严焱 卢云君 唐锋 王向朝 郭福东
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 测量 干涉测量 面形检测 环形子孔径扫描 锥形镜 零位测试
• 年，卷（期）: 2019,（10）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 219-228
• 页数: 10页
• 分类号: O436.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201946.1004001

摘要

提出一种新的基于环形子孔径扫描的锥形镜面形测量方法,该方法可实现大口径、不同锥角的锥形镜面形的通用化测量.使用微动扫描台移动锥形镜,同时测量待测锥面法线方向若干环带的相位,提取有效像素并通过插值拼接得到被测锥形镜的面形.该方法可实现锥角大干96.4°的锥形镜面形的测量,测量口径可达100 mm以上,理论测量精度达到λ/4 PV(λ为波长;PV为峰谷值).使用ZYGO公司4英寸(1 inch=2.54 cm)的DynaFiz干涉仪对一个标称角度为140°的凸面锥形镜顶部的面形进行检测,被测样品旋转90°前后的面形检测结果与使用Taylor-Hobson公司LuphoScan轮廓仪检测结果一致,PV值相差0.54μm,验证了该方法的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王向朝	中国科学院上海光学精密机械研究所	170	1628	23.0	35.0
2	唐锋	中国科学院上海光学精密机械研究所	19	47	4.0	6.0
3	卢云君	中国科学院上海光学精密机械研究所	11	51	3.0	7.0
4	郭福东	中国科学院上海光学精密机械研究所	6	4	1.0	2.0
5	严焱	中国科学院上海光学精密机械研究所	1	0	0.0	0.0