PZT纳米纤维MEMS压电式传感器的稳健优化设计

• 作者: 刘扬 吕博 谭晓兰 鲍娜娜
• 来源期刊: 机械工程师
• 学科: 工学
• 关键词: PZT纳米纤维 MEMS压电式传感器 压电性能分析 随机模型 稳健设计
• 年，卷（期）: 2019,（10）
• 所属期刊栏目: 机械研究与分析
• 页码范围: 25-27,31
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2915字
• 语种: 中文

摘要

与传统的传感器相比,MEMS传感器结构的微小变差将会对其性能的稳定性产生较大影响,因此将稳健设计应用到MEMS传感器的结构设计中具有十分重要的意义.文中以锆钛酸铅(PZT)纳米纤维MEMS压电式传感器为例,分析其主要结构和工作原理,对其进行压电性能分析,并建立了基于随机模型的稳健设计数学模型.开发相应的算法程序,并求得稳健设计解.对稳健设计的结果进行分析,结果表明稳健设计解在设计变量和噪声因素发生变差时具有稳健性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭晓兰	北方工业大学机械与材料工程学院	38	251	8.0	15.0
2	鲍娜娜	北方工业大学机械与材料工程学院	3	7	1.0	2.0
3	刘扬	北方工业大学机械与材料工程学院	3	7	1.0	2.0
4	吕博	北方工业大学机械与材料工程学院	2	0	0.0	0.0