Al0.7Sb2Te3三元靶材的结构性能表征

• 作者: 周增林 夏扬 孙川希 谢元锋
• 来源期刊: 稀有金属材料与工程
• 学科: 工学
• 关键词: Al0.7Sb2Te3 XPS 化学价态 有效化合
• 年，卷（期）: 2019,（7）
• 所属期刊栏目: 材料科学
• 页码范围: 2203-2207
• 页数: 5页
• 分类号: TG146.4+35
• 语种: 中文

摘要

以原子比Al∶Sb∶Te=0.7∶2∶3的混和粉为原料,采用真空合成法与烧结-热等静压制备Al0.7Sb2Te3三元靶材,通过XRD、FESEM、EDS、XPS等手段表征其性能,且重点采用XPS研究Al在Al0 7Sb2Te3三元靶材的存在状态.结果 表明:Al掺杂后,靶材主相Sb2Te3的晶格常数变化,且单质Al弥散相与Al0.1Sb2Te3基体相共存,表明掺杂对靶材的组织结构确有影响;刻蚀深度从0 nm增加至405.9 nm,Al价态从以Al2O3的化合态为主逐渐过渡至以单质态为主,且Al以Al2O3形态为主的区域深度约90 nm;刻蚀深度为405.9 nm的XPS分析表明,Al0.1 Sb2Tes中的Al通过有效化合形成AlSb影响着靶材的组织结构.