Mirau型干涉显微物镜干涉平板装配误差容限分析

• 作者: 于颢彪 孙一峰 王帅 胡捷 袁群 高志山
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 显微 干涉显微物镜 色散 倾斜 装配误差 误差容限
• 年，卷（期）: 2019,（9）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 146-152
• 页数: 7页
• 分类号: O436
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201946.0904001

摘要

针对Mirau型干涉显微物镜中干涉平板的装配误差问题,建立了参考板倾斜时的干涉光强表征模型,通过对光瞳面内测试光束和参考光束的分割,求解参考板倾斜时干涉光强的积分表达形式,通过数值计算定量分析参考板倾斜度对干涉条纹包络、对比度的影响,并采用宽带光八步移相算法进行三维形貌复原,据此确定参考板倾斜误差的容限.设计了50×Mirau型干涉显微物镜的参考板倾斜验证结构,通过实验测量了标准台阶板,验证了仿真分析模型的准确性,确定了50×干涉显微物镜中参考板倾斜误差容限为1.5°.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高志山		71	465	12.0	18.0
2	袁群		19	28	4.0	4.0
3	孙一峰		3	0	0.0	0.0
4	于颢彪		3	0	0.0	0.0
5	王帅		17	60	5.0	7.0
6	胡捷		1	0	0.0	0.0