局部信息统计的LTPS/IGZO缺陷快速检测优化方法

• 作者: 林嘉华 程良伦
• 来源期刊: 自动化技术与应用
• 学科: 工学
• 关键词: LTPS/IGZO玻璃基板 快速检测 模板匹配 直方图统计 RGB
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: 仪器仪表与检测技术
• 页码范围: 123-128,139
• 页数: 7页
• 分类号: TP391.41
• 字数: 4847字
• 语种: 中文

摘要

在检测具有高密度,高精度的LTPS/IGZO玻璃基板缺陷时,往往由于其要求的处理速度快,处理的像素信息量大而不能很好的保证检测效果.为解决这个问题,本文提出了一种快速的模板匹配方法,对检测样本背景图像进行模板匹配之后删除,再设计一个直方图噪声统计图中R、G、B三通颜色像素信息,去除法过滤图像噪声,保留缺陷图像信息,从而达到快速检测目的,并保证产品检测的识别率.实验结果表明,本文的方法在加快缺陷检测速度的基础上,也很好的保证了产品的检测识别率,与现有的95.6％的识别率相比,此方法可达到97％以上.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林嘉华	广东省广东工业大学自动化学院	1	0	0.0	0.0
2	程良伦	广东省广东工业大学自动化学院	1	0	0.0	0.0