纳米测量技术

• 作者: 郭鸣华
• 来源期刊: 当代检察官
• 学科: 物理学
• 关键词: 测量技术 纳米级 干涉条纹 测量法 分辨率 X射线 位移 形貌
• 年，卷（期）: 2019,（10）
• 页码范围: 50-50
• 页数: 1页
• 分类号: O436.1

摘要

纳米级测量技术包括:纳米级精度的尺寸和位移的测量,纳米级表面形貌的测量。一是光干涉测量技术,它是利用光的干涉条纹来提高测量的分辨率,其测量方法有:双频激光干涉测量法、光外差干;涉测量法、X射线干涉测量法、F-P标准工具测量法等,可用于长度和位移的精确测量,也可用于表面显微形貌的测量。