200keV He+辐照改性锐钛矿TiO2薄膜初步研究

• 作者: 宋晓东 徐国庆 徐宇 王佳恒 赵宗方
• 来源期刊: 能源与节能
• 学科: 工学
• 关键词: 锐钛矿 TiO2薄膜 He+辐照 形貌变化 弹性模量
• 年，卷（期）: 2019,（11）
• 所属期刊栏目: 新能源建设
• 页码范围: 42-46
• 页数: 5页
• 分类号: TB39
• 字数: 3592字
• 语种: 中文

摘要

为研究锐钛矿TiO2薄膜经200 keV He+辐照改性后的结构、形貌和性能变化,并探索其变化机制,利用多弧离子镀技术制备一批具有统一工艺参数的锐钛矿TiO2薄膜,在室温环境下进行能量为200 keV,注量为1×1016 ions/cm2、5×1016 ions/cm2和1×1017 ions/cm2的He+薄膜辐照实验.结合未辐照样品且经一系列表征可知,XRD、XPS结果显示辐照后薄膜相结构无明显变化,表面部分Ti4+转化为Ti3+,并出现表面吸附O2分子的情况;SEM、TEM、AFM结果显示辐照后表面部分Ti“液滴”因辐照生热过高而熔化,氦泡沿薄膜生长方向分布;经四探针电阻测量仪、紫外-可见分光度仪测量可知,因缺陷引入导致薄膜光吸收性能及电阻率提升;从表面接触角测量仪结果可知,薄膜表面亲水性得到了改善;纳米压痕仪测量结果显示,硬度及弹性模量随辐照先因缺陷、位错等引入而增加,后因氦脆现象而退化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋晓东		5	4	1.0	2.0
2	赵宗方		7	0	0.0	0.0
3	徐国庆		3	0	0.0	0.0
4	徐宇		7	0	0.0	0.0
5	王佳恒		5	0	0.0	0.0