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摘要:
在玻璃基体上,采用射频磁控溅射方法在不同的基体温度下制备了TiO2薄膜,然后在薄膜中注入注量分别为5×1016, 1×1017和5×1017/cm2的N离子以制备N掺杂的TiO2薄膜.X射线衍射结果表明:制备出的TiO2薄膜为锐钛矿型.X射线光电子能谱研究结果表明:注入的N离子与TiO2晶粒相互作用,形成了含氮的TiOxN2-x化合物,从而改变了TiO2薄膜的吸收边;随N离子注量增加,吸收边移动更明显;同时,由于氮离子注入产生的辐照缺陷使TiO2薄膜在紫外和可见光区的吸收也明显增强.
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关键词云
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文献信息
篇名 离子注入掺杂锐钛矿TiO2薄膜的光学性能
来源期刊 强激光与粒子束 学科 工学
关键词 TiO2薄膜 锐钛矿 氮掺杂 离子注入 吸收光谱 射频磁控溅射
年,卷(期) 2009,(5) 所属期刊栏目 粒子束技术
研究方向 页码范围 775-778
页数 4页 分类号 TQ174.4|O433.4
字数 3353字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 居勇峰 电子科技大学应用物理系 6 21 3.0 4.0
2 祖小涛 电子科技大学应用物理系 111 627 12.0 17.0
3 向霞 电子科技大学应用物理系 27 116 6.0 9.0
4 陈猛 电子科技大学应用物理系 5 38 4.0 5.0
5 常丹 电子科技大学应用物理系 1 4 1.0 1.0
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研究主题发展历程
节点文献
TiO2薄膜
锐钛矿
氮掺杂
离子注入
吸收光谱
射频磁控溅射
研究起点
研究来源
研究分支
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相关学者/机构
期刊影响力
强激光与粒子束
月刊
1001-4322
51-1311/O4
大16开
四川绵阳919-805信箱
62-76
1989
chi
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