半导体设备预防性维护建模与优化方法分析

• 作者: 郭玉兵
• 来源期刊: 环球市场
• 关键词: 半导体设备 预防性维护 建模 优化方法
• 年，卷（期）: 2019,（17）
• 所属期刊栏目: 科技纵横
• 页码范围: 386
• 页数: 1页
• 字数: 1460字
• 语种: 中文

摘要

随着世界科技发展进程,半导体逐渐走进人类社会,应用于多个领域,在日常生活中,常见于收音机、电视机以及测温上的应用.半导体的生产线造价极其昂贵,制造工艺极其复杂,因此,其设备维护不仅费用高,而且难度也普遍偏高.为了降低生产系统的维护成本,保障整个生产系统的运行稳定,本文通过对半导体设备预防性建模并分析优化方法来减少设备的故障发生率,增强设备的可靠性和生产效率,从而提高企业的生产效益.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭玉兵		2	0	0.0	0.0