某半导体厂房洁净室空调系统设计

• 作者: 刘沥
• 来源期刊: 科技风
• 关键词: 电子厂房 空调 设计
• 年，卷（期）: 2019,（26）
• 所属期刊栏目: 科技创新
• 页码范围: 5-6
• 页数: 2页
• 字数: 1864字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19392/j.cnki.1671-7341.201926004

摘要

随着现代工业的飞速发展,实验、研究以及生产的环境要求越来越高,各种不同用途,不同工艺的洁净厂房在各个电子工业园区中落户,本文以某半导体电子工业生产厂房为例,浅谈半导体厂房洁净室的空调系统设计.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘沥		1	2	1.0	1.0