锆合金包壳管内壁SiC涂层的PECVD制备与性能

• 作者: 余金山 刘艳红 卢蕾文 周新贵 李怀林 樊哲琼 王洪磊 谭瑞轩
• 来源期刊: 粉末冶金材料科学与工程
• 关键词: 锆合金包壳管 SiC涂层 PECVD 抗热冲击性能 抗高温水蒸气腐蚀
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 工艺技术
• 页码范围: 206-212
• 页数: 7页
• 分类号: TB31
• 语种: 中文

摘要

提出一种新型便捷的等离子体增强化学气相沉积法(plasma enhanced chemical vapor deposition,PECVD),在细长的锆合金包壳管(外径9.5 mm,壁厚0.57 mm,长度200 mm)内壁制备厚度分别3μm和5μm的SiC涂层,用扫描电镜观察涂层的微观结构,并测试其抗热冲击性能和抗高温水氧腐蚀性能.结果表明,该制备方法可快速、高效地在包壳管内壁沉积SiC涂层,涂层致密且光滑平整,无论在包壳管的轴向或径向方向,涂层厚度均匀一致.涂层与锆合金基体结合良好,具有良好的抗热冲击性能,1200℃高温淬火后不发生剥落.SiC涂层可隔绝锆合金与高温水蒸气接触,有效保护锆合金包壳管,防止其被氧化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周新贵	国防科技大学空天科学学院	93	1060	19.0	27.0
2	余金山	国防科技大学空天科学学院	14	37	4.0	5.0
3	刘艳红		17	43	4.0	5.0
4	李怀林		17	43	4.0	5.0
5	王洪磊	国防科技大学空天科学学院	11	46	4.0	6.0
6	樊哲琼	长沙理工大学材料科学与工程学院	2	1	1.0	1.0
7	谭瑞轩	国防科技大学空天科学学院	1	0	0.0	0.0
8	卢蕾文	长沙理工大学材料科学与工程学院	1	0	0.0	0.0