单色器晶体角度微振动的高精度原位检测技术

• 作者: 刘运 张琦 徐中民 李中亮 樊奕辰 王劼
• 来源期刊: 中国光学
• 学科: 物理学
• 关键词: 同步辐射 双晶单色器 角度微振动 双频激光干涉仪
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 原创文章
• 页码范围: 156-164
• 页数: 9页
• 分类号: O434.1
• 字数: 5077字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CO.20201301.0156

摘要

为实现对双晶单色器角度微振动的原位测量,设计了基于双频激光干涉仪的双晶单色器晶体角度微振动测试系统,并搭建了实验平台.激光经干涉计偏振分光后射向被测晶面,对反射信号调制解调求得晶面两端的位移偏差,从而高频获取晶面的角度位移信息.通过数据预处理可以有效去除夹杂在数据中的噪声及直流分量,应用快速傅立叶变换处理得到晶体角度振动的频谱信息,准确获取对晶体稳定性产生影响的特征频率,从而分析影响晶体稳定性的主要振源.该方案可实现晶体角位移的高频采集,分辨率高达25 nrad,并能准确分析出不同振源影响下晶体微振动的情况,为单色器结构优化提供参考.