基于提拉法生长激光晶体的高精度称重系统设计

• 作者: 左海涛 张睿平 李建鸿 纪文刚 金健
• 来源期刊: 工业仪表与自动化装置
• 关键词: 激光晶体生长 称重系统 数据滤波
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 所属期刊栏目: 设计与应用
• 页码范围: 46-50
• 页数: 5页
• 分类号: TP273
• 语种: 中文

摘要

针对机械振动、电机转动、温度变化以及激光晶体生长固熔界面张力波动等干扰因素而导致激光晶体重量测量不准确的问题,采用具备三阶温度系数和非线性数字补偿功能的前端信号处理电路、基于双路冒泡排序的中位值均值数据滤波算法,设计了用于激光晶体生长的高精度称重系统.实验表明,系统能够较好实现晶体重量的测量,测量范围0～5 kg,分辨率0.01 g,通过友好的人机界面实现称重系统的初始化、生长过程数据的查询与记录,体现了虚拟仪器的核心思想,系统成功应用于激光晶体实际生长,等径生长阶段控制均匀,具有良好的稳定性与精确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	纪文刚		55	213	8.0	12.0
2	左海涛		5	7	2.0	2.0
3	李建鸿		5	2	1.0	1.0
5	张睿平		6	9	2.0	3.0
11	金健		1	0	0.0	0.0