锐钛矿型TiO2薄膜的研究进展

• 作者: 杨培志 杨德威
• 来源期刊: 云南师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 锐钛矿型TiO2 薄膜制备方法 物相结构 原子层沉积 研究进展
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 所属期刊栏目: 可再生能源研究
• 页码范围: 15-22
• 页数: 8页
• 分类号: TQ134.1
• 字数: 6579字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7699/j.ynnu.ns-2020-018

摘要

二氧化钛薄膜是一种重要的半导体材料,在传感器、光催化和太阳电池等领域具有广阔的应用前景.二氧化钛薄膜的制备方法决定了其物相结构、物理化学性质、光学和电学特性.简要介绍了二氧化钛的物相结构,综述了锐钛矿型二氧化钛薄膜的制备方法,分析讨论了它们各自的优缺点,展望了其未来的发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨培志	云南师范大学可再生能源材料先进技术与制备教育部重点实验室	42	68	5.0	6.0
2	杨德威	云南师范大学可再生能源材料先进技术与制备教育部重点实验室	3	0	0.0	0.0