环形抛光中方形元件塌角控制方法的理论分析

• 作者: 吴伦哲 吴福林 张慧方 徐学科 陈军 顿爱欢
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 光学制造 抛光 面形 材料去除率
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 所属期刊栏目: 激光制造
• 页码范围: 58-63
• 页数: 6页
• 分类号: TB133
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL202047.0402001

摘要

全口径环形抛光中方形元件的材料去除率存在从中心到边角位置越来越大的现象,致使抛光工件出现塌角的面形,影响了方形光学元件的面形质量.基于Preston方程,通过改变元件的多种运动轨迹,计算了方形光学元件全口径的材料去除率分布.通过分析发现:使方形光学元件在保持原有自转的同时沿抛光模径向或与径向有一定夹角的方向摆动,且附加在元件整个抛光面上的运动速度保持一致时,可使方形元件的材料去除率分布得更均匀.通过附加这种运动方式可以有效控制方形元件的塌角现象.