三波长单脉冲纳秒激光损伤CCD实验研究

• 作者: 张亚男 张鑫 牛春晖 秦绪志 马牧燕
• 来源期刊: 应用激光
• 学科: 工学
• 关键词: 单脉冲激光 损伤阈值 CCD 损伤机理
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 页码范围: 300-307
• 页数: 8页
• 分类号: TN249
• 语种: 中文
• DOI: 10.14128/j.cnki.al.20204002.300

摘要

开展了波长分别为1 064 nm、532 nm和416 nm,脉宽均为5 ns的单脉冲激光损伤CCD的实验,观测并比较了不同损伤阶段三种波长激光各自损伤CCD的视频图像、微观形貌、阈值和芯片引脚的电阻阻值,分析了CCD的损伤机理.在532 nm和416 nm激光所损伤CCD视频输出图像中发现了并未出现在1 064 nm激光所损伤CCD视频输出图像中的黑点现象;CCD发生损伤时,微透镜层的损伤状况随辐照激光波长减小而愈加严重;1 064 nm激光损伤CCD的阈值最高,532 nm和416 nm激光损伤CCD的阈值相近.与未损伤的CCD相比,完全失效CCD的基底与垂直移位寄存器的电阻、垂直移位寄存器间的电阻明显下降,由此推断,基底与多晶硅电极的短路或多晶硅电极间的短路是造成CCD白屏的主要原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	牛春晖		57	146	7.0	10.0
2	马牧燕		22	58	5.0	7.0
3	张亚男		4	0	0.0	0.0
4	张鑫		2	0	0.0	0.0
5	秦绪志		2	0	0.0	0.0