基于PSD的高精度微位移测量系统研究

• 作者: 周森 张志伟 蔡睿博
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 工学
• 关键词: 位置敏感测量器 测量系统 上位机 信号处理电路
• 年，卷（期）: 2020,（5）
• 所属期刊栏目: 光电测量
• 页码范围: 22-27
• 页数: 6页
• 分类号: TN247
• 语种: 中文

摘要

为实现对古斯-汉欣位移的精确测量,设计了一个以一维PSD为核心的位移测量系统.根据PSD的原理和特性设计了后续的信号处理电路,STC89C52通过12位AD芯片TLC2578采集PSD输出的位置信号,经过处理传输到液晶LCD1602,再通过USB接口传输到上位机,以两种方式进行位移值显示,从而完成测量.实验结果表明,该系统在中心的测量精度较高,边缘的测量精度较低,测量误差在±10 μm内.设计的系统不仅可用于对古斯-汉欣位移的测量,也可以用于其他微位移测量的实验中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张志伟		45	153	6.0	8.0
2	周森		3	2	1.0	1.0
3	蔡睿博		2	0	0.0	0.0