基于原子力显微术的5 nm台阶高度标准物质溯源与定值技术研究

• 作者: 余茜茜 施玉书 景蔚萱 李伟 胡晓东
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 原子力显微镜 标准物质 台阶高度 溯源性 计量学
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 精密测量技术与仪器
• 页码范围: 79-86
• 页数: 8页
• 分类号: TB921|TH711
• 语种: 中文
• DOI: 10.19650/j.cnki.cjsi.J2006036

摘要

纳米台阶高度标准物质是一种具有特定量值的物理标准物质,主要用于量值传递以及相关纳米测量仪器的校准.在获批国家标准物质之前,其量值的准确性、稳定性等计量特性必须经过严格的计量测试,才能得到行政许可部门的认可.针对5 nm这一较小量值的纳米台阶高度标准物质的定值方法进行了详细介绍,由中国计量科学研究院自主研制建立的毫米级纳米几何结构计量标准装置采用单一原级的定值方式进行严格定值,采用方差分析法进行均匀性检验,保障了台阶高度量值的溯源性与准确性,定值结果为:h=(5.8±1.O)nm,k=2,并在12个月的时间内进行稳定性监测,最终实现了国家一级标准物质的成功申报.