一种用于三维闪存测试的低成本PMU电路

• 作者: 张玺 王颀 童炜 霍宗亮
• 来源期刊: 微电子学与计算机
• 关键词: 3D NAND FPGA 直流参数测试 精密测量单元
• 年，卷（期）: 2020,（5）
• 页码范围: 1-5
• 页数: 5页
• 分类号: TN407
• 语种: 中文

摘要

为了改善3D NAND测试机价格昂贵导致的闪存芯片成本过高的问题,提出了一种新的基于FPGA的用于3D NAND闪存芯片直流参数测试的低成本PMU(精密测量单元)电路.利用FPGA灵活的可编程特性,通过对ADC、DAC和继电器等分立元件工作的控制,实现了具有FVMI(加电压测电流)、FIMV(加电流测电压)等直流参数测试功能的PMU电路.该PMU电路已应用于YMTC自研3D NAND Flash测试平台,可以对3D NAND的直流参数进行准确测量,并且测试机台的成本只有大型ATE机台的0.175％,从而缓解了芯片测试成本过高的问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张玺		1	0	0.0	0.0
5	王颀	中国科学院微电子研究所	4	0	0.0	0.0
9	童炜		1	0	0.0	0.0
10	霍宗亮		10	8	2.0	2.0