微纳米超硬TiAlSiN涂层的研究与应用进展

• 作者: 周琼 张而耕 李朝明 林荣川 潘文高 陈刚 陈强 黄彪
• 来源期刊: 应用技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: TiAlSiN涂层 超硬 微纳米 物理气相沉积
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 所属期刊栏目: 特邀稿件
• 页码范围: 118-125
• 页数: 8页
• 分类号: TB43
• 字数: 3820字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2096-3424.2020.02.002

摘要

微纳米超硬TiAlSiN涂层是一种硬度高 、耐磨性抗粘附性好 、化学惰性强的氮化物涂层,特别适合在加工不锈钢 、高温合金以及超硬材料的工具表面上应用.对TiAlSiN涂层的制备方法,影响微纳米超硬涂层内部结构的因素,涂层的硬度 、摩擦性能 、磨损性能 、抗氧化性能 、切削性能 、抗粘附性及涂层的应用等方面进行了综述,同时对微纳米超硬TiAlSiN涂层的发展趋势进行了展望.