一种基于改进型裙摆探针的三维原子力显微技术

• 作者: 傅星 吴森 张锐 施玉书 肖莎莎 胡晓东
• 来源期刊: 测试科学与仪器
• 学科: 工学
• 关键词: 三维原子力显微镜 裙摆型针尖 扫描器 光杠杆 矢量扫描
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 所属期刊栏目: Novel instrument and sensor system
• 页码范围: 388-396
• 页数: 9页
• 分类号: TH711
• 语种: 英文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-8042.2020.04.011

摘要

针对微纳米结构的真三维形貌无损检测需求,研制了基于裙摆型针尖(Flared tip)的三维原子力显微镜(3D-AFM).设计了一种高精度扫描平台结构,通过同时移动探针和样品实现快速伺服反馈,并利用组合式纳米定位台来保证位移的线性度和正交性.为了消除因AFM测头移动引起的信号偏差,设计了随动式光杠杆系统用于检测悬臂梁的形变量.此外,提出了一种基于商用裙摆探针的悬臂梁裁剪方法,可减小测量过程中针尖横向受力.将改进型探针安装到3D-AFM系统上,利用自适应矢量逼近扫描策略进行了多种样品的3D测量实验.实验结果表明,样机的垂直方向位移噪声(RMS)优于0.1 nm,高/宽测量重复性(峰峰值)优于2.5 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	施玉书		35	121	5.0	8.0
2	张锐		1	0	0.0	0.0
3	吴森		1	0	0.0	0.0
4	肖莎莎		1	0	0.0	0.0
5	胡晓东		1	0	0.0	0.0
6	傅星		1	0	0.0	0.0