纳秒激光与水射流耦合加工实验研究

• 作者: 李元 李靖怡 杨立军 王扬 程柏
• 来源期刊: 电加工与模具
• 学科: 工学
• 关键词: 激光与水射流耦合加工 纳秒激光 划槽
• 年，卷（期）: 2020,（z1）
• 所属期刊栏目: 激光加工及增材制造
• 页码范围: 53-57
• 页数: 5页
• 分类号: TG665
• 字数: 4567字
• 语种: 中文

摘要

采用了纳秒激光与水射流耦合加工技术,使用不同的激光特性参数及水射流参数对304不锈钢、碳化硅、硅晶圆进行划槽实验,都获得了较好的加工质量,验证了纳秒激光与水射流耦合能束蚀除材料的优越性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王扬	哈尔滨工业大学机电工程学院	110	956	19.0	24.0
2	杨立军	哈尔滨工业大学机电工程学院	46	263	10.0	15.0
6	李元	哈尔滨工业大学机电工程学院	4	83	3.0	4.0
7	李靖怡	哈尔滨工业大学机电工程学院	1	0	0.0	0.0
11	程柏	哈尔滨工业大学机电工程学院	1	0	0.0	0.0