碱性盐溶液蚀刻法制备新型多孔纳米减反增透玻璃

• 作者: 姜宏 李军葛 潘国治 赵会峰 郝霞
• 来源期刊: 硅酸盐通报
• 学科: 工学
• 关键词: 减反增透玻璃 化学刻蚀 透过率 纳米结构
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 所属期刊栏目: 玻璃
• 页码范围: 1296-1301
• 页数: 6页
• 分类号: TQ171
• 字数: 3858字
• 语种: 中文

摘要

采用化学刻蚀法在钠钙硅平板玻璃表面制备具有减反增透性能的膜层.利用Na2 SiO3、EDTA二钠、AlCl3溶液对预处理后的玻璃表面进行化学刻蚀,使玻璃表面的化学键断裂,在玻璃表面形成疏松的纳米孔状结构,利用扫描电镜对刻蚀后玻璃表面和断面形貌进行观察,通过对玻璃表面空隙及断面膜层厚度的调控实现入射光在传递过程中产生相消干涉,获得减反增透效果.固定刻蚀液浓度和刻蚀时间,样品透过率随刻蚀温度的升高先增大后降低;固定刻蚀液浓度和刻蚀温度,样品透过率随刻蚀时间的增加先增大后降低.通过调节刻蚀液浓度,刻蚀时间和温度,可制备得到不同透过率和微观结构的减反射样品.使用EDS能谱和红外光谱对玻璃的刻蚀机理进行了研究和验证.在80℃实验条件下,经6h的溶液刻蚀后,在玻璃表面形成宽为20 ～ 30 nm,厚度为100 ～ 200 nm分布比较均匀的纳米孔状结构,玻璃的平均透过率达98.5％,比原始基片提高了8％,雾度由原来的0.20％增加到4.97％,蚀刻前后玻璃成分基本无变化,玻璃的光学性能得到了有效的提高.