一种敏感位移的光栅结构优化分析

• 作者: 王晓慧
• 来源期刊: 光通信研究
• 学科: 工学
• 关键词: 光栅 衍射光强 Gsolver软件 衍射效率 微位移
• 年，卷（期）: 2020,（5）
• 所属期刊栏目: 光电器件研究与应用
• 页码范围: 42-45,63
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.13756/j.gtxyj.2020.05.010

摘要

针对目前位移传感器体积较大和分辨率较低的问题,文章设计了一种面内位移检测的双层纳米光栅结构,用耦合波理论阐述光栅的衍射性质,使用Gsolver软件对双层光栅的上下两层光栅间隙、光栅周期、光栅占空比以及入射波长进行了优化仿真分析,研究在各参数下,双层纳米光栅面内位移对衍射效率的影响,最终得到一组对位移敏感的光栅结构.仿真结果表明,当两层光栅间隔为200 nm、光栅厚度为390 nm、光栅周期为800 nm以及入射光的波长为850 nm时,双层光栅的光透射特性较好.可通过检测透射光强的变化来获得光栅的面内微位移.