X射线反射镜研制技术的现状和发展

• 作者: 万勇建 吴介立 吴永前 张东霓 徐燕 李明 杨福桂 洪振
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: X射线聚焦 同步辐射光源 短波长 反射镜
• 年，卷（期）: 2020,（8）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 58-69
• 页数: 12页
• 分类号: TH74|O434.1
• 字数: 7334字
• 语种: 中文
• DOI: 10.12086/oee.2020.200205

摘要

本文总结了当前同步辐射X射线反射镜光学制造技术的需求背景、发展现状以及未来方向.同步辐射光源是国家重大科学装置,作为同步辐射光源重要光学元件的X射线反射镜,直接决定着光学调制品质.短波长掠入射的特殊应用场景,使X射线反射镜有着更为特殊且高精度的面形要求,其加工与检测技术长期为国外所垄断,国内发展较为缓慢,面对国内未来同步辐射装置的建设需求,我国亟需打破这一现状.