X射线Kirkpatrick-Baez显微镜用超反射镜的研制

• 作者: 张众 王占山 王风丽 秦树基 穆宝忠 陈玲燕 顾春时
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 多层膜 X射线超反射镜 KB型显微镜 磁控溅射 反射
• 年，卷（期）: 2006,（7）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 1095-1098
• 页数: 4页
• 分类号: O434|O484.41
• 字数: 3816字
• 语种: 中文

摘要

介绍了一种可应用于X射线Kirkpatrick-Baez(KB)显微镜的光学元件--X射线超反射镜.选用的W和B4C作为镀膜材料,膜对数为20,采用单纯型调优的方法实现了X射线超反射镜设计,用磁控溅射的方法在Si基片上完成了W/B4C X射线超反射镜的制备.采用高分辨率X射线衍射仪(8 keV)测量了X射线超反射镜的反射特性.制备的X射线超反射镜在掠入射角分别为1.052°和1.143°处,反射角度带宽为0.3°,反射率达到20%,可满足KB型显微镜的要求.