掠入射X射线显微镜反射率分析

• 作者: 胡家升 赵玲玲
• 来源期刊: 大连理工大学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: X射线成像 掠入射 表面粗糙度 反射率
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 工程物理、工程力学
• 页码范围: 469-472
• 页数: 4页
• 分类号: O434.1
• 字数: 3358字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-8608.2006.04.001

摘要

X射线掠入射显微镜的反射率除了与掠入射角有关之外,还与反射表面的粗糙度密切相关. 以设计的非共轴掠入射KBA X射线显微镜系统为例,讨论了掠入射下X射线从金属表面和单层膜表面反射的两种情况. 分析了波长为0.83 nm时,表面均方粗糙度(RMS)对反射率的影响,并计算了该系统的X射线反射率. 分析结果表明RMS增大,反射率会降低;无氧铜的反射率为0.021,单层膜的反射率为0.049,因此KBA X射线显微镜可采用镀单层膜的方法加工.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡家升	大连理工大学电子与信息工程学院	65	797	16.0	24.0
2	赵玲玲	大连理工大学电子与信息工程学院	5	33	3.0	5.0