非共轴掠入射X射线显微镜参数的误差分析

• 作者: 李祥 胡家升 赵玲玲
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: X射线成像 X射线显微镜 公差制定 误差分析
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 34-42
• 页数: 9页
• 分类号: TH742.63
• 字数: 3486字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2006.01.007

摘要

设计了一套由4个反射镜组成的非共轴掠入射X射线显微镜,分析了该系统的像差和成像质量.为了研制出高质量的设备,需要制定合理的加工和装配公差.研究了由于元件和结构参数(反射镜的半径,物距,掠入射角等)的误差而引起的高斯参数和像差的变化.首次用点列图和调制传递函数来定量评价图像质量降低的程度,并在此基础上制定了合理的加工和装配公差.在这些公差的约束下,研制成一套非共轴掠入射X射线显微镜,在激光引爆的惯性约束聚变的诊断实验中,用该系统获得了高质量的图像.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡家升	大连理工大学电子与信息工程学院	65	797	16.0	24.0
2	赵玲玲	大连理工大学电子与信息工程学院	5	33	3.0	5.0
3	李祥	大连理工大学电子与信息工程学院	2	26	2.0	2.0