X射线散射法测量Wolter-Ⅰ型掠入射望远镜的表面粗糙度

• 作者: 何玲平 刘鹏 张亚超 王晓光 陈波
• 来源期刊: 中国光学
• 学科: 物理学
• 关键词: 表面散射 粗糙度 功率谱密度 掠入射望远镜
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 原创文章
• 页码范围: 587-595
• 页数: 9页
• 分类号: O434
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CO.20191203.0587

摘要

研究X射线散射法在软X射线掠入射望远镜反射镜的表面粗糙度测量中的应用.首先,在光滑表面近似和细光束条件下,根据Harvey-Shack表面散射理论得出反射镜的面形仅影响总反射光分布中的镜向部分,对散射部分的影响可以忽略不计;然后设计了X射线散射法测量Wolter-I型软X射线掠入射望远镜的表面粗糙度的实验方案,并且对引起系统误差的主要因素进行了分析,确定了进行仿真实验时的参数;最后用Zemax对实验方案进行了仿真.在空间频率高于28/mm时,表面粗糙度的仿真测量结果与真值吻合得非常好.本文研究结果显示:在光滑表面近似和细光束条件下,反射镜的面形仅影响表面粗糙度的低频部分的测量准确性,对高频部分测量准确性的影响可以忽略不计,利用X射线散射法可以准确测量软X射线掠入射望远镜的表面粗糙度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈波	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	167	1116	17.0	24.0
2	王晓光	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	38	172	7.0	11.0
3	刘鹏	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	144	1144	19.0	27.0
7	何玲平	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	16	51	4.0	7.0
8	张亚超	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	3	8	1.0	2.0