散射法表面粗糙度测量

• 作者: 尼启良 陈波
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 散射 软X射线 超光滑表面 光洁度测量
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 所属期刊栏目: 测试技术及设备
• 页码范围: 155-158
• 页数: 4页
• 分类号: TG84
• 字数: 1918字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2001.02.012

摘要

介绍了标量和矢量两种散射理论，并用软X射线反射率计对超光滑表面进行散射测量，同时应用这两种理论计算了超光滑表面粗糙度均方根值，从计算结果来看，两种理论所得结果与WYKO测量结果吻合较好。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈波	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	167	1116	17.0	24.0
2	尼启良	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	35	217	8.0	13.0