单层膜Kirkpatrick-Baez显微镜的分辨率模型

• 作者: 伊圣振 王占山 王新 穆宝忠 黄圣铃
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: Kirkpatrick-Baez显微镜 空间分辨率 单层膜 视场
• 年，卷（期）: 2008,（11）
• 所属期刊栏目: ICE与激光等离子体
• 页码范围: 1872-1876
• 页数: 5页
• 分类号: O434.1
• 字数: 3179字
• 语种: 中文

摘要

分析了几何像差、衍射效应和光学加工精度等因素对不同工作能点的单层膜Kirkpatrick-Baez显微镜成像质量的影响,构建了该显微镜的均方根空间分辨率模型,用Ir单层膜KB显微镜获得了8 keV能量的X射线成像结果,其中心视场的分辨率约为2 μm,±50 μm视场的分辨率优于5 μm.实验结果与分辨率模型的对比表明,中心视场的分辨率受球差、衍射效应和反射镜加工精度的综合影响,边缘视场的分辨率主要由系统的几何像差决定.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王占山	同济大学精密光学工程技术研究所	92	640	14.0	19.0
2	穆宝忠	同济大学精密光学工程技术研究所	20	64	5.0	7.0
3	王新	同济大学精密光学工程技术研究所	16	21	3.0	4.0
4	伊圣振	同济大学精密光学工程技术研究所	7	47	4.0	6.0
5	黄圣铃	同济大学精密光学工程技术研究所	3	27	2.0	3.0