周期多层膜Kirkpatrick-Baez显微镜成像性质分析

• 作者: 丁永坤 伊圣振 朱京涛 王占山 王新 穆宝忠 缪文勇 董建军 黄圣铃
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: Kirkpatrick-Baez显微镜 X射线成像 周期多层膜 像质
• 年，卷（期）: 2009,（11）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 1681-1685
• 页数: 5页
• 分类号: O434.1
• 字数: 3243字
• 语种: 中文

摘要

分析了Kirkpatrick-Baez(KB)显微镜的成像性质与周期多层膜元件间的关系.基于分辨力和集光效率要求,设计了KB显微镜的光学结构,模拟了KB系统的成像质量,用W/B4C周期多层膜反射镜进行了X射线成像实验,在±100 μm视场内得到优于5 μm的空间分辨力结果.实验与模拟结果的对比表明,加工精度和球差是影响中心视场分辨力的关键因素,有效视场的大小受多层膜角度带宽的限制.