基于光学自准直法的光波导阵列平行度测试

• 作者: 李杏华 杨永 梁佳琪 黄银国
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 几何光波导 自准直法 半透半反膜阵列 平行度测量
• 年，卷（期）: 2020,（7）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 1415-1423
• 页数: 9页
• 分类号: TH712
• 字数: 3835字
• 语种: 中文
• DOI: 10.37188/OPE.20202807.1415

摘要

为了提高几何光波导的成像质量,提出了一种基于离轴自准直光路的光波导阵列平行度测试方法.根据阵列平面特征分析了以空间二维角度表征光波导中半透半反膜阵列平行度的误差评定模型,将几何光波导成像原理与自准直光路相结合,推算出了阵列平行度的数学关系式.然后,构建了光波导阵列平行度测量系统,系统中具有光源控制器可以控制输出光强,有效解决了因光波导中不同半透半反膜的光能利用率不同而影响测量的难题.利用Steger算法对自准直回像进行图像处理.最后,完成了标定和阵列平行度测试以及验证实验.实验结果表明,平行度测量系统的测量不确定度为1.14'',最大重复性误差为0.32''.该方法可以快速准确地测量几何光波导中的阵列平行度,对光波导阵列面的姿态修正以及成像质量的提高具有指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄银国	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	47	437	10.0	19.0
2	李杏华	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	66	514	13.0	19.0
3	杨永	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	8	73	5.0	8.0
4	梁佳琪	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	1	0	0.0	0.0