基于 SOI 光波导的损耗测试与优化

• 作者: 刘俊 刘耀英 崔丹凤 晋玉剑 李艳娜 王永华 薛晨阳 谢成峰 韦丽萍
• 来源期刊: 测试技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光波导 传输损耗 弯曲损耗 光栅 垂直耦合
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: 测试技术与理论研究
• 页码范围: 243-248
• 页数: 6页
• 分类号: TN252
• 字数: 1996字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7449.2014.03.011

摘要

利用电子束光刻技术，制备了带有氧化硅包层的SOI光波导结构，对其传输模态及损耗进行了详细的理论分析，并分别对波导的传输损耗和耦合损耗进行了测试．测试结果验证了单模传输模态时的传输损耗较低，在波导层上添加覆盖层可以将波导传输损耗降低至3．96 dB桙cm ，利用光栅垂直耦合可以大大降低光纤-波导的耦合损耗，耦合效率可以达到32．7％．