SOI纳米光波导表面粗糙度的研究进展

• 作者: 张文栋 张辉 桑胜波 段倩倩 菅傲群
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 集成光学 光波导 表面粗糙度 散射损耗
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: 综述与评述
• 页码范围: 367-375
• 页数: 9页
• 分类号: TN252
• 字数: 5638字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2017.03.013

摘要

SOI纳米光波导表面粗糙度会显著增加波导散射损耗,降低表面粗糙度是其在许多方面应用中亟待解决的关键问题之一.首先介绍了表面粗糙度概念,总结了表面散射损耗理论方面的研究进展.随后回顾了多种SOI纳米光波导表面粗糙度测量方法,以及在表面形貌表征中存在的问题.此外,还对几种波导表面光滑工艺进行介绍,并结合具体的工作对光波导表面粗糙度各方面研究进展进行了总结.