基于SOI的光波导和V形槽集成器件

• 作者: 彭治林 程振杰
• 来源期刊: 光通信研究
• 学科: 工学
• 关键词: SOI 光波导 Y分支器 V形槽
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 页码范围: 55-57，60
• 页数: 4页
• 分类号: TN722
• 字数: 1490字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-8788.2003.04.016

摘要

文章介绍了一种基于SOI的集成半导体器件. 设计了5 μm×5 μm的单模光波导, 并用APSS软件进行了光场模式分析; 利用KOH各向异性腐蚀制造了直的脊波导、Y分支器和V形槽; 最后, 利用紫外光敏胶将波导和光纤固定.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程振杰	加拿大McMaster大学工程物理系	1	0	0.0	0.0
2	彭治林	加拿大McMaster大学工程物理系	1	0	0.0	0.0