SiC的添加量对树脂金刚石线切割能力的影响

• 作者: 倪进华 刘兴鹏 张顼 马伯江 高伟
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 树脂金刚石线 硅片 多线切割 线锯 SiC
• 年，卷（期）: 2020,（5）
• 页码范围: 69-73
• 页数: 5页
• 分类号: TG74|TG58
• 语种: 中文
• DOI: 10.13394/j.cnki.jgszz.2020.05.0012

摘要

制备不同SiC含量的树脂金刚石线,并进行硅片切割试验.通过记录切割过程中的扭矩和加切情况,研究不同SiC添加量对树脂金刚石线切割能力的影响.结果表明:当树脂液中SiC添加量增加时,树脂金刚石线的切割能力逐渐增强;当SiC超过一定添加量时,切割能力有所降低.试验中,树脂液中SiC的添加量为600 g/L时,树脂金刚石线切割硅片产生的切割扭矩为96 N·m,且无加切情况,其切割能力最高;此时树脂固化后的邵氏硬度为91 HD,树脂层中的SiC分散均匀,无气孔等缺陷.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马伯江		24	129	7.0	10.0
2	高伟		30	275	11.0	16.0
3	刘兴鹏		2	0	0.0	0.0
4	倪进华		2	0	0.0	0.0
5	张顼		1	0	0.0	0.0