树脂硬度对金刚石切割线切割性能的影响

• 作者: 李军 王东雪 马伯江 高伟
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 树脂固化 肖氏硬度 断裂表面 硅片切割
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 页码范围: 72-75
• 页数: 4页
• 分类号: TG74|TQ164|TG58
• 字数: 2045字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13394/j.cnki.jgszz.2019.1.0013

摘要

研究不同树脂结合剂对金刚石切割线切割性能的影响.分别采用纯酚醛树脂、环氧改性酚醛树脂、芳烷基改性酚醛树脂制备树脂固化硬度试样,并检测试样的肖氏硬度.用扫描电镜观察树脂固化后的试样断裂表面,发现不同树脂固化后的致密程度不同.分别制作金刚石切割线进行单晶硅切割实验.实验结果表明:采用固化硬度高、固化后致密性好的纯酚醛树脂制作的切割线在切割时的线弓最小,加切时间较短,金刚石颗粒不易脱落,切割能力强.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马伯江	青岛科技大学机电工程学院	24	129	7.0	10.0
2	高伟	青岛科技大学机电工程学院	30	275	11.0	16.0
3	王东雪		4	1	1.0	1.0
4	李军	青岛科技大学机电工程学院	5	4	2.0	2.0