基于MEMS的气相色谱分析传感技术

• 作者: 冯飞 赵斌 罗凡 田博文
• 来源期刊: 微纳电子与智能制造
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 气相色谱 色谱柱 检测器
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 页码范围: 65-71
• 页数: 7页
• 分类号: TN389

摘要

基于微机电系统(micro-electro-mechanical systems,MEMS)技术实现分析仪器的微小型化是目前MEMS领域的重要研究内容之一。气相色谱仪是一种应用十分广泛的复杂气体分析仪器,基于MEMS技术实现气相色谱仪的微小型化,可满足当前快速增长的实时、在线、快速检测的需要。基于MEMS技术实现气相色谱仪核心部件的芯片化,并对其集成技术进行研究是当前基于MEMS的气相色谱分析传感技术研究的主要内容,给出了该分析传感技术的国内外研究现状及其技术发展趋势。