萘酚基酚醛树脂的合成及其在lift-off光刻胶中的应用

• 作者: 刘敬成 司树伟 孙小侠 穆启道 郑祥飞
• 来源期刊: 影像科学与光化学
• 关键词: α-萘酚 酚醛树脂 正性光刻胶 NAPR-BOC lift-off
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 页码范围: 609-614
• 页数: 6页
• 字数: 3310字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7517/issn.1674-0475.200306

摘要

首先以α-萘酚、间甲酚、甲醛为单体,通过缩聚反应合成了萘酚基酚醛树脂NAPR,随后与二碳酸二叔丁酯(DBDC)反应制备了一系列t-BOC改性的萘酚基酚醛树脂NAPR-BOC.用红外(FT-IR)、核磁(1H NMR)、凝胶色谱(GPC)、热失重分析(TGA)对其结构及性能进行了表征.以NAPR-BOC-2为基体树脂配制成lift-off光刻胶,测试了光刻胶的分辨率、形貌和耐热性,得到的光刻胶分辨率最大为0.6 μm,耐热可达130℃.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘敬成	江南大学化学与材料工程学院	39	169	6.0	10.0
2	穆启道		8	17	3.0	4.0
3	郑祥飞	江南大学化学与材料工程学院	7	12	2.0	3.0
4	孙小侠	江南大学化学与材料工程学院	2	4	1.0	2.0
8	司树伟	江南大学化学与材料工程学院	1	0	0.0	0.0