改善200 mm晶圆边缘加工产能的工艺研究

• 作者: 安瑞阳 李军营 苏冰 蔡丽艳 郑宇 郑捷
• 来源期刊: 材料科学
• 学科: 经济
• 关键词: 倒角 吸盘转速 倒角轮转速 产能
• 年，卷（期）: 2020,（9）
• 页码范围: 794-798
• 页数: 5页
• 分类号: F42

摘要

本文根据硅片边缘磨削原理,从吸盘转速、倒角轮转速、边抛效率等方面对200 mm硅片进行分析研究,进而得出不同的加工工艺条件对硅片边缘质量及加工产能的影响,从而达到提升加工产能的目的。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苏冰		7	1	1.0	1.0
2	郑捷		4	3	1.0	1.0
3	蔡丽艳		6	3	1.0	1.0
4	安瑞阳		5	3	1.0	1.0
5	李军营		3	0	0.0	0.0
6	郑宇		2	0	0.0	0.0