一种新型的剖面化学染色技术研究

• 作者: 姚雪霞 曹婷
• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: 化学染色 常规染色法 剖面染色法 超结染色液 PN结缺陷定位
• 年，卷（期）: 2020,（7）
• 所属期刊栏目: 微电子制造与可靠性
• 页码范围: 57-60
• 页数: 4页
• 分类号: TN306
• 字数: 2516字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2020.0709

摘要

化学染色法是一种常见的PN结形貌分析方法.目前常规的化学染色技术有磨角法、滚槽法、电解水氧化法和剖面染色法.提出了一种新型的剖面化学染色技术,在传统的剖面染色法基础上新增了表面剥层、染色及观察步骤,可突破常规化学染色技术的局限,实现对PN结分布的观测及PN结缺陷的定位分析.进一步研究发现在新型剖面染色法的染色步骤使用超结染色液,可显著提升化学染色的效果和成功率.应用该化学染色技术,大大降低了半导体产品反向工程及失效分析的时间和成本,为PN结分析提供了方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曹婷		2	0	0.0	0.0
2	姚雪霞		2	0	0.0	0.0