极紫外光源参数对极紫外辐照损伤测试系统聚焦光束性能的影响

• 作者: 吴晓斌 王宇 王魁波 罗艳 谢婉露
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光光学 极紫外 极紫外辐照损伤测试系统 极紫外光源参数 聚焦光斑 聚焦能量
• 年，卷（期）: 2020,（6）
• 所属期刊栏目: 激光器件与激光物理
• 页码范围: 48-53
• 页数: 6页
• 分类号: O434|TN23
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL202047.0601004

摘要

实验研究了放电频率、电脉冲能量、碎屑缓冲气体流量等极紫外光源参数对极紫外辐照损伤测试系统聚焦光束性能的影响.测试结果表明:极紫外辐照损伤测试系统焦深为±1.5 mm;聚焦光斑尺寸及单脉冲能量随光源电脉冲能量的增大而明显增大,受光源放电频率影响较小;典型工作条件下,光斑尺寸在0.79～1.44 mm之间,聚焦光束单脉冲能量在112.09～436.06 μJ范围内;在200 Hz、5.0J时聚焦光束单脉冲能量最高为436.06 μJ,聚焦光束单脉冲能量密度最高达到31.53 mJ/cm2,在1500 Hz、4.6J时聚焦功率密度达32.87 W/cm2;最优缓冲气体Ar气工作气压为1～2 Pa,此时聚焦光束单脉冲能量最优.该测试研究可为极紫外辐照损伤测试研究中系统参数优化及设置提供指导参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王宇	中国科学院微电子研究所	211	1906	23.0	32.0
2	罗艳	中国科学院微电子研究所	30	414	8.0	20.0
3	吴晓斌	中国科学院微电子研究所	12	24	3.0	4.0
4	王魁波	中国科学院微电子研究所	11	20	3.0	4.0
5	谢婉露	中国科学院微电子研究所	4	0	0.0	0.0