高精度激光光束准直系统设计

• 作者: 朱凡 李颖先 谭久彬
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 激光准直 直线基准 光束漂移 光束稳定
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 817-826
• 页数: 10页
• 分类号: TH741.14|TP391
• 字数: 3248字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20202804.0817

摘要

为了进一步提高激光光束用作直线基准的精度,建立了基于反射镜平动式光束稳定器以及两点式光束漂移分离法的高精度激光光束准直系统.首先,对系统中基于反射镜平动的光束稳定器进行研究,对其光束偏转原理以及影响因素进行分析,并对两点式光束漂移分离方法进行介绍.然后,对光束偏转单元的分辨力以及偏转范围、所使用的压电陶瓷非线性和迟滞特性、以及光束偏转单元的频率响应特性进行实验测试.最后,对该激光准直系统的激光光束准直精度进行测试.实验结果表明:本文提出的光束偏转单元在120 μrad范围内的光束偏转分辨力可以达到5 nrad,频率响应特性高于2 kHz;最终激光准直系统的准直精度在二维方向上分别达到1.9×10-8 rad和2.1×10-8 rad,相对于现有技术约提高了3倍,满足激光光束用作高精度直线基准的需求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭久彬	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	140	2284	28.0	42.0
2	朱凡	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	1	0	0.0	0.0
3	李颖先	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	1	0	0.0	0.0