大口径反射镜表面颗粒污染物暗场检测算法研究

• 作者: 尹朝阳 张德志 牛龙飞 程健 苗心向 蒋晓东 赵林杰 陈明君
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 成像系统 暗场成像 自动聚焦 畸变校正 污染物提取
• 年，卷（期）: 2020,（7）
• 所属期刊栏目: 成像系统
• 页码范围: 72-81
• 页数: 10页
• 分类号: TN247
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS202040.0711003

摘要

针对大口径反射镜表面污染物的成像特点,研究了污染物的暗场检测算法,包括图像采集过程中的自动聚焦算法,图像处理过程中的畸变校正与污染物提取算法等.就自动聚焦算法提出了粗-精结合的峰值搜索策略,并采用Tenengrad函数作为清晰度评价函数,获得了较高的聚焦精度.畸变校正算法在所建畸变模型的基础上,基于标定板角点的射影变换性质,求解畸变模型系数,实现了图像畸变校正,校正结果的方均根误差为3.3092 pixel.污染物提取算法采用顶帽变换去除图像背景,对去除背景的图像采用拉普拉斯算子加权自适应二值化算法提取污染物,该算法针对光照不均的小尺寸污染物图像的处理效果较好,检测结果数量误差为7％,检测精度优于全局阈值算法以及均值算子加权自适应二值化算法.该检测算法可以为反射镜表面洁净状态评估提供技术支撑.