离子能量分析器测量特性的仿真研究

• 作者: 程健 翟红雨 陆伟 陈银华
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 离子能量分析器 离子能谱测量 COMSOL 软件仿真 误差分析
• 年，卷（期）: 2020,（8）
• 所属期刊栏目: 粒子束及加速器技术
• 页码范围: 69-76
• 页数: 8页
• 分类号: O53
• 字数: 5763字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB202032.190459

摘要

针对空间等离子体及其模拟环境、空间原子氧及其模拟环境对离子能谱测量的需要,利用仿真软件COMSOL,对离子能量分析器的低能离子测量特性进行了仿真研究.介绍了离子能量分析器的工作原理,对离子能谱测量过程进行了公式推导.通过对三种待选仪器设计方案进行离子透过率仿真分析,确定了一种较优的仪器设计方案.多种离子温度下的误差分析结果也表明,该设计方案能够较为准确地测量离子能量分布.分析了电场畸变、等离子鞘层、栅网对齐方式和离子温度对测量结果的影响,根据仿真结果对一些仿真实验现象做出了合理的解释.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程健	中国科学技术大学自动化系	91	589	12.0	21.0
2	陈银华	中国科学技术大学近代物理系	12	63	3.0	7.0
3	陆伟	中国科学技术大学电子科学与技术系	25	245	7.0	15.0
4	翟红雨	中国科学技术大学自动化系	2	2	1.0	1.0