基于A-Scan和C-Scan的多层陶瓷结构介质缺陷无损检测

• 作者: 何志刚 梁栋程 王晓敏 龚国虎
• 来源期刊: 太赫兹科学与电子信息学报
• 学科: 工学
• 关键词: 多层陶瓷结构 高温共烧陶瓷 低温共烧陶瓷 超声检测 A模式扫描 C模式扫描
• 年，卷（期）: 2020,（5）
• 所属期刊栏目: 微电子、微系统与物理电子学
• 页码范围: 951-955
• 页数: 5页
• 分类号: TM277
• 语种: 中文
• DOI: 10.11805/TKYDA2019052

摘要

针对多层陶瓷结构(MCS)介质缺陷的超声检测(UT)技术开展了研究.首先,以多层瓷介电容器(MLCC)结构为例,通过薄层反射理论计算并证明了UT对空洞和分层等介质缺陷检测的适用性和有效性,即较低的频率对极薄的空隙也有很强的反射信号;同时,给出了C-Scan检测参数建议,包括等效焦距、表面波时间、门限和增益.其次,对MCS进行了实际的UT检测验证,表明50 MHz是最佳的筛选频率.最后,给出了A-Scan判别缺陷的理论依据和渡越时间定位缺陷纵深定位的方法,并通过制样检测进行了验证.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	龚国虎		11	24	2.0	4.0
2	王晓敏		20	40	3.0	5.0
3	梁栋程		11	8	2.0	2.0
4	何志刚		11	18	2.0	4.0