基于电涡流传感器的微位移测量系统的设计

• 作者: 荣锋 郭翠娟 韩信
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 位移传感器 测量系统 系统补偿 非线性误差
• 年，卷（期）: 2020,（9）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 12-18
• 页数: 7页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文

摘要

针对金属物体微位移测量困难的问题,设计了一种基于电涡流原理的位移测量系统.文中使用一种新型桥式结构设计了系统的硬件电路,完成金属物体的位移量到电压量的转换;使用软件拟合的方法对传感器信号进行非线性补偿和温度补偿,提高传感器的测量精度以及稳定性.测试结果表明,在0～2 mm量程范围内电涡流传感器位移测量系统的线性度小于0.75％,最小仅有0.25％,满足金属物体微位移测量的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	荣锋		34	133	7.0	10.0
2	郭翠娟		34	86	5.0	7.0
3	韩信		4	0	0.0	0.0