基于纳米测量机的微结构三维坐标测量

• 作者: 吴俊杰 李源
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微纳米测量 纳米测量机 三维微接触测头 高深宽比 侧壁倾角
• 年，卷（期）: 2020,（10）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 2252-2259
• 页数: 8页
• 分类号: TH711
• 语种: 中文
• DOI: 10.37188/OPE.20202810.2252

摘要

针对当前微纳米测量中存在的微结构跨尺度、高精度测量及高深宽比结构多参数表征问题,基于纳米测量机和微接触测头构建了纳米坐标测量系统.通过对测头与定位平台机械、电气及软件接口的设计,实现测头与平台的集成,并利用标准球对测量系统进行校准.为保证测量结果的可溯源性,对定位平台三轴激光干涉仪的激光器进行了拍频.最后,利用搭建的测量系统对高度10μm,2 m m的超高台阶及硅臂卡爪的侧壁倾角进行了测量,表明系统具备大尺寸结构的高精度测量和复杂MEMS器件特征尺寸的精确表征能力.